產(chǎn)品時間：2021-08-27
FS4001系列測量氣體流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。
簡介：
FS4001系列測量氣體流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作。
FS4001系列測量氣體流量傳感器適用于各類清潔氣體。*的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
產(chǎn)品特點：
- 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量
- 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳
- 感器的高精度計量
- 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
- 傳感器的零點穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性
- 全量程高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗
- 低壓損
- 響應(yīng)時間快
主要參數(shù)：
性能參數(shù) | FS4001 | 單位 | |
通 徑 | 1.0 | 1.8 | mm |
大流量 | 30, 100, 200 | 500, 1000 | SLPM |
量程比 | >100：1 |
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精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重復(fù)性 | 0.25 | %讀數(shù) | |
零點輸出飄移 | ±30 | mV | |
輸出飄移 | ±0.12 | %/oC | |
響應(yīng)時間 | 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 | mses | |
工作電源 | 8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 | 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓損 | 350 | 300 | pa |
大工作壓力 | 0.5 | MPa | |
工作溫度 | -10 ~ +55 | oC | |
存儲溫度 | -20 ~ +65 | oC | |
工作濕度 | <95%RH（無結(jié)冰、無凝露） |
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機(jī)械接口 | 可拆式軟管接頭 |
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校準(zhǔn)方式 | 空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa |
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重量 | 15 | g | |
86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
